Poistokaasujen käsittelysysteemit (EMS)

Laitteistoja prosessin poistokaasujen jälkikäsittelyyn (Exhaust Management System).

Alati tiukentuvat tuotantolaitosten poistopäästöt asettavat prosessien poistokaasujen jälkikäsittelylle kovat haasteet. Lisäksi prosessit kehittyvät ja usein kaasuja käytetään enemmän ja sekoitetaan useimpia keskenään, etenkin puolijohdeteollisuudessa. Näistä yhdisteistä voi muodostua haitallisia tai myrkyllisiä kaasuja, sekä kasvihuonekaasuja, mitkä kaikki vaativat käsittelyä ennen ilmaan päästöä. Edwards tyhjiötekniikan poistokaasujen käsittelylaitteistot tarjoavat tehokasta ja turvallista käsittelyä mm. FPD, Solar, ALD, TEOS, Etsaus, PVD, WCVD, LPCVD, PECVD, MOCVD, TI/Tin CVD ja lukuisiin muihin CVD- prosesseihin.

Myynti

Marko Friman

Myynti

Harri Vähämäki

Myynti

Ota yhteyttä

Tuote: Poistokaasujen käsittelysysteemit (EMS)